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氮化硅设备

  • 氮化硅生产中的常用设备

    2024年3月2日  氮化硅生产中的常用设备 氮化硅是一种重要的高性能材料,它常被用于制作抗磨损、抗腐蚀要求较高的元器件。 在高温加热类的部件,如高温管道制作中常被用到。 影响氮化硅主要性能的因素有很多,比如原材料的纯度、制备过程中温度的把控

  • 北方华创12英寸氮化硅LPCVD获突破,进入中国IC制造龙头企业

    2020年4月20日  氮化硅(Si3N4) 薄膜是一种应用广泛的介质材料。 作为非晶绝缘物质,氮化硅膜的介质特性优于二氧化硅膜,具有对可动离子阻挡能力强、结构致密、针孔密度小、化学稳定性好、 介电常数高等优点,常用于集成电路制造中的介质绝缘、杂质掩蔽、浅沟道隔离、掩膜、外层钝化保护等工艺。 作为一种性能优良的重要介质材料,在集成电路制造 领

  • 氮化硅陶瓷在四大领域的研究及应用进展 CERADIR 先进

    1970年1月1日  制备氮化硅陶瓷材料首先需要获得氮化硅粉体,再经过成型、烧结等工艺,最后得到所需要的氮化硅陶瓷,其中主要成型工艺有干压成型、冷等静压成型、流延成型 [4] ,主要烧结工艺有热压烧结、气压烧结 ( gas pressure sintering, GPS)、热等静压烧结

  • 氮化硅百度百科

    氮化硅是一种无机物,化学式为Si3N4。 它是一种重要的 结构陶瓷 材料,硬度大,本身具有润滑性,并且 耐磨 损,为 原子晶体 ;高温时抗氧化。 而且它还能抵抗 冷热冲击 ,在空气中加热到1000℃以上,急剧冷却再急剧加热,也不会碎裂。 正是由于 氮化硅

  • 12英寸立式低压化学气相沉积氮化硅炉 产品管理 北方华创

    2024年7月3日  THEORIS SN302D主要用于12英寸晶圆上的氮化硅薄膜低压化学气相沉积工艺,可覆盖高、低温氮化硅薄膜沉积。 该机台可进行全自动工艺流程,系统主要由传输模块、工艺模块、控制模块和附属设备构成。 升级版系统可实现原位清洗等功能,有效控制颗

  • 中国建材集团有限公司

    2018年12月7日  氮化硅陶瓷是一种新型的先进陶瓷材料,与其他材料相比具有优异的性能,其硬度仅次于金刚石,重量仅为钢的1/3,同时具有耐高温、抗腐蚀、自润滑、透波等特殊性能,被誉为综合性能最好的结构陶瓷材料。 但是由于我国的生产工艺相对落后,国外先进工艺又进行技术封锁,尤其是热等静压制备方法,技术门槛高,设备综合指标苛刻且费

  • 氮化硅精密陶瓷(高级陶瓷)京瓷 KYOCERA

    氮化硅 氮化硅主要由Si3N4组成,耐热冲击性极强和高温强度极佳。 这些特性使其成为汽车发动机和燃气轮机中的理想材料。 它可用被应用于涡轮增压器转子、柴油发动机中的发热插头和带电插拔中,还被用于很多其它不同应用中。

  • 氮化硅生产中的常用设备

    2024年3月2日  氮化硅生产中的常用设备 氮化硅是一种重要的高性能材料,它常被用于制作抗磨损、抗腐蚀要求较高的元器件。 在高温加热类的部件,如高温管道制作中常被用到。 影响氮化硅主要性能的因素有很多,比如原材料的纯度、制备过程中温度的把控

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    2020年4月20日  氮化硅(Si3N4) 薄膜是一种应用广泛的介质材料。 作为非晶绝缘物质,氮化硅膜的介质特性优于二氧化硅膜,具有对可动离子阻挡能力强、结构致密、针孔密度小、化学稳定性好、 介电常数高等优点,常用于集成电路制造中的介质绝缘、杂质掩蔽、浅沟道隔离、掩膜、外层钝化保护等工艺。 作为一种性能优良的重要介质材料,在集成电路制造 领

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  • 氮化硅生产中的常用设备

    2024年3月2日  氮化硅生产中的常用设备 氮化硅是一种重要的高性能材料,它常被用于制作抗磨损、抗腐蚀要求较高的元器件。 在高温加热类的部件,如高温管道制作中常被用到。 影响氮化硅主要性能的因素有很多,比如原材料的纯度、制备过程中温度的把控

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    2020年4月20日  氮化硅(Si3N4) 薄膜是一种应用广泛的介质材料。 作为非晶绝缘物质,氮化硅膜的介质特性优于二氧化硅膜,具有对可动离子阻挡能力强、结构致密、针孔密度小、化学稳定性好、 介电常数高等优点,常用于集成电路制造中的介质绝缘、杂质掩蔽、浅沟道隔离、掩膜、外层钝化保护等工艺。 作为一种性能优良的重要介质材料,在集成电路制造 领

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    1970年1月1日  制备氮化硅陶瓷材料首先需要获得氮化硅粉体,再经过成型、烧结等工艺,最后得到所需要的氮化硅陶瓷,其中主要成型工艺有干压成型、冷等静压成型、流延成型 [4] ,主要烧结工艺有热压烧结、气压烧结 ( gas pressure sintering, GPS)、热等静压烧结

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    氮化硅是一种无机物,化学式为Si3N4。 它是一种重要的 结构陶瓷 材料,硬度大,本身具有润滑性,并且 耐磨 损,为 原子晶体 ;高温时抗氧化。 而且它还能抵抗 冷热冲击 ,在空气中加热到1000℃以上,急剧冷却再急剧加热,也不会碎裂。 正是由于 氮化硅

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    氮化硅 氮化硅主要由Si3N4组成,耐热冲击性极强和高温强度极佳。 这些特性使其成为汽车发动机和燃气轮机中的理想材料。 它可用被应用于涡轮增压器转子、柴油发动机中的发热插头和带电插拔中,还被用于很多其它不同应用中。

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    2024年3月2日  氮化硅生产中的常用设备 氮化硅是一种重要的高性能材料,它常被用于制作抗磨损、抗腐蚀要求较高的元器件。 在高温加热类的部件,如高温管道制作中常被用到。 影响氮化硅主要性能的因素有很多,比如原材料的纯度、制备过程中温度的把控

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    2018年12月7日  氮化硅陶瓷是一种新型的先进陶瓷材料,与其他材料相比具有优异的性能,其硬度仅次于金刚石,重量仅为钢的1/3,同时具有耐高温、抗腐蚀、自润滑、透波等特殊性能,被誉为综合性能最好的结构陶瓷材料。 但是由于我国的生产工艺相对落后,国外先进工艺又进行技术封锁,尤其是热等静压制备方法,技术门槛高,设备综合指标苛刻且费

  • 氮化硅精密陶瓷(高级陶瓷)京瓷 KYOCERA

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